近年来，随着集成电路技术以及信息技术的不断发展，半导体领域产业规模不断地扩大，微纳半导体光电子器件测试与分析技术得到广泛应用。半导体器件分析仪不仅可以对微米乃至纳米尺度的器件进行测试分析，还可用于工业级芯片质量的检测，其强大的测量和分析功能满足了基础科研、纳米材料以及高尖端集成电路等领域的测试需求，有效支撑了半导体光电子科学的研究与发展。

一、设备简介

图1 半导体器件分析仪

制造商：Keysight technologies (是德科技)

型号：B1500A

二、设备原理

半导体器件分析仪将多种测量和分析功能整合，可精确快速地进行器件表征。它是目前唯一能够提供广泛的器件表征功能以及最出色测量可靠性和可重复性的多功能参数分析仪。其基本原理是将多种源表模块、测量单元通过电路设计相结合，并通过Keysight EasyEXPERT group+界面软件实现多种测试选择和操作。

图2 模块单元及整合单元

三、用途及功能

1.精密电压和电流测量，可实现0.5 µV 和 0.1 fA 分辨率；

2.可编程、灵活设计测试范围和测试周期；

3.用于多频率（1 kHz至5 MHz）电容测量（CV、C-f和C-t），无需重新连接电缆即可在CV和IV测量之间进行切换，为被测器件提供完整的CV补偿输出；

4.实现CMOS晶体管、双极晶体管（BJT）、存储器等多种功率器件和纳米器件的光电测试与分析；

5.自动分析测量数据，并具有局域网远程控制仪器正常运行功能。

四、近期服务功效

我校材料科学与工程学院李东教授、潘安练教授团队利用半导体器件分析仪测试了低亚阈值摆幅(SS)的可重构二维晶体管，在精准分区调控晶体管接触、提升器件性能的基础上，构建了高增益的反相器逻辑电路。相关研究成果发表在高水平期刊Science Bulletin上。

五、预约说明

1.预约网站：湖南大学大型仪器设备共享平台 http://sbgx.hnu.edu.cn/

2.收费标准：校内180元/时，校外230元/小时

3.预约流程：平台注册——搜索设备（半导体器件分析仪(B1500A)）——点送样预约——审核通过后打印送样申请表并签字和样品一起给到设备管理人员

4.测试地点：两山一湖中四栋一楼光学实验室

5.联系人：朱晨光，手机15273182123，E-mail:chen_zhu@hnu.edu.cn