仪器设备开放共享|校级公共实验平台仪器设备推介超高真空低温扫描探针显微镜(UHV-LTSTM)

发布时间:2020年12月07日 15:45 已阅读:


超高真空低温扫描探针显微镜已安装、调试、验收完毕,目前已投放到湖南大学大型仪器共享平台,可预约使用。该系统可以在低温(5K-300K)超高真空环境(10-11 Torr)下实现对样品表面结构表征、高分辨STM谱学研究。目前可以进行原子尺度局域STM/STS测试。

一、   仪器简介

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                           图 1 超高真空低温扫描探针显微镜

制造商:德国Createc

型号:LT-STM-AFM-N

主要规格&技术指标:

1. 扫描探针显微镜工作温度范围为4.8K-500K,其最大极限扫描面积在液氦温度下1.2μm×1.2μm,在77 K时为2.5μm×2.5μm,在室温下为5μm×5μm。  

2. 探针在x、y、z方向的粗移动范围为±2mm×±2 mm×6 mm(工作温度范围)。

3. 样品操纵台同时具备直通电流加热、辐射加热方式,同时具有液氮/液氦冷却功能。样品温度范围:15K-1100K;提供特制样品台适用于硅片直接电流加热,温度可达到 1500K。

4. 样品绕Z轴旋转范围±180度,样品台X,Y 方向移动范围±10mm,Z方向在腔体之中移动范围400mm,以满足所有实验要求。

二、安装地点

    物电学院A132

三、预约方式

    通过“湖南大学大型仪器设备共享平台”http://sbgx.hnu.edu.cn/网上注册、预约使用。

四、联系人

    秦志辉(zhqin@hnu.edu.cn,18062591790 )

五、收费标准

检测项目 校内 校外 备注
原子尺度结构及扫描隧道谱学性质检测(液氮温区) 400/小时 800/小时

1.形貌表征及扫描隧道谱局域电子态表征(液氮制冷剂),400元/小时,机时数包括必要的开机准备时间、测试时间、必须的后处理时间;

2.形貌表征及扫描隧道谱局域电子态表征(液氦制冷剂),800元/小时,机时数包括必要的开机准备时间、测试时间、必须的后处理时间,由液氮转为液氦耗费液氦部分另计算;

3.qPlus   AFM形貌表征(液氦制冷剂),1000元/小时,机时数包括必要的开机准备时间、测试时间、必须的后处理时间,由液氮转为液氦耗费液氦部分另计算。请充分沟通后再预约,具体收费标准面议。


  六、样本检测注意事项

    该系统涉及超高真空、低温、极低振动等诸多精密技术,因此,预约进行超高真空低温扫描探针显微镜测试服务,要求如下:

  1. 样品须是导体或者半导体且具有一定的刚性,要求干燥无可挥发成分;

  2. 样品标准尺寸长、宽、厚为10 mm×2.5 mm×1 mm,宽度须≦2.5 mm,厚度最大1.5 mm;

  3. 因该设备正常工作情况下以200 nm×200 nm区域扫描,所以待测结构须尽量高密度分布在样品上,请提供OM和SEM照片以判断表面粗糙度优于5 nm每4万平方纳米为佳(表面粗糙度过大会影响针尖探测),以样品整个表面是同一种结构为佳,以便寻找到待测结构(往往该过程花费很多机时),以尽可能缩短样品扫描时间;

  4. 样品从大气环境传入超高真空(真空度优于2×10-10 mbar)环境,需要一定的机时,传入超高真空腔体内后需要加热至100℃以上以除掉表面附着的水气以及污染物,故待测样品须至少耐100℃温度。