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球差校正透射电子显微镜通过技术验收

时间:2021-12-30 点击:

12月21日,我校组织了球差校正透射电子显微镜技术验收会,中南大学、长沙理工大学与我校共6位专家出席,验收会由实管处处长杨旭静主持。

技术验收会上,我校球差校正透射电子显微镜实验室技术委员会主任陈江华教授带领验收专家组,听取了仪器到货、安装调试、试运行及测试结果等相关汇报,逐项查看合同条款、用户测试报告、安装测试报告等全部资料,现场检查了仪器设备的安装、运行与测试实操等情况,就仪器设备的功能实现和性能参数指标完成情况进行了深入交流与充分讨论,专家组一致认为仪器各项技术参数达标,功能、性能均满足合同要求,通过技术验收。

球差校正透射电子显微镜作为极具代表性的高水平大型科研仪器,将为学校科学研究、学科发展、人才引育提供强有力的条件支撑。

技术验收专家组现场交流





                                         

  

扩展阅读

Ø  科研必备武器


球差校正透射电镜能够在原子级分辨率(优于60pm)下研究固体材料的原子结构和电子结构特征,包括样品形貌、晶体对称性、缺陷、化学组分、化学键、氧化态等信息,结合双束电子显微镜(FIB)可以在微纳尺度上对样品进行加工设计和观察,是尖端物质科学研究领域不可或缺的分析表征工具,已广泛应用于物理、化学、材料、微电子、环境、能源等学科领域。

 

Ø  现有仪器简介


湖南大学分析测试中心球差校正透射电子显微镜实验室目前有聚光镜球差校正透射电子显微镜(Thermo Scientific, Themis Z)、物镜球差校正透射电子显微镜(Thermo Scientific, Themis Z)和双束电子显微镜(Thermo Scientific, Helios 5 CX)各一台。

主要功能和性能指标如下:

物镜球差校正透射电子显微镜:选区电子衍射、衍衬像、高分辨像(HRTEM,分辨率0.08nm)、扫描透射像(BF, HAADF-STEM,分辨率为0.136nm)、Lorentz显微术、X射线能谱分析(EDS点、线、面分析)。稳定加速电压为80,120,300kV。

聚光镜球差校正透射电子显微镜:选区电子衍射、衍衬像、高分辨像(HRTEM,分辨率0.2nm)、扫描透射像(BF, HAADF-STEM,ABF,iDPC,分辨率为0.06nm)、X射线能谱分析(EDS点、线、面分析)、三维重构、电子能量损失谱分析(EELS点、线、面分析,能量分辨率为0.2eV)。稳定加速电压为60和300kV。

图1 球差校正透射电镜(AC-TEM)实物图


双束电子显微镜(聚焦离子束系统):扫描电子像(二次电子像、背散射电子像,分辨率为<0.6nm@15kV)、样品的微纳加工(Ga离子束刻蚀)、透射电镜样品制备。加速电压为200V-300kV,可在电子束或离子束诱导下进行Pt和C沉积。

图2双束电子显微镜(聚焦离子束系统,FIB)实物图

  Ø  仪器实验结果展示


图3 GaN样品沿[211]方向的原子分辨HAADF像(左)和钙钛矿氧化物沿[110]方向的原子分辨iDPC像

图4 单原子(左)和纳米线(右)样品的原子分辨HAADF像


图5 电子能量损失谱分辨率测量和实际样品的EELS谱

图6 氧化物超晶格样品的原子分辨HAADF像和EELS元素分布图